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深圳市 博远机电设备有限公司

Shenzhen Boyo Electromechanical Equipment Co., Ltd.

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产品详情

化工行 业用水环罗茨真空系统

       真空系统。是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过
滤总成等组成的成套真空系统。目前,该系统
广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。 

  真空系
统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保
护及远程控制接口等。只需要
在现场进行简单的连接电源和管道,即可以
组成一个完整的真空系统。该真空
系统的控制系统由先进的PLC控制系
统经过编程后组成,以触摸屏为人机界面,实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保
护系统等的全自动化控制。 

     真空系统,顾名思义,就是有
两台两台以上的真空泵串联或者并联起来,加装一个储气罐,所有的
真空全部抽到储气罐里面,通过PLC程序控制系统,自动控
制真空泵的开启和关闭。 

     真空系统自启动后,全部运
行过程可以实现全自动控制。在工作中,真空系
统内各处的真空度(即真空
稀薄程度平均分布)始终在
其允许范围内上下波动,其波动
范围可根据用户要求进行调整。使用螺杆真空泵、罗茨真空泵、旋片真
空泵及水环真空泵真空系统能达到优秀流程工艺 

  第一台
真空泵启动后达不到设定所需真空时第二台真空泵启动至达到设定的真空值。当达到
所需设定值后台真空泵停止接着第二台真空泵停止循环工作。我司的
真空系统可在无人操作情况下对系统进行自动控制,在停电
时可自动封闭真空系统。同时控
制箱可以保护真空泵马达过载及短路。 

       真空泵
系统由二台或二台以上的真空泵及其他附件组合一个系统完成需要的达到真空度的目的就叫真空泵系统
真空泵
系统设计的关键问题是选择真空抽气机组的主泵
       主泵类型的确定
(1)根据真
空室所需要建立的极限压力确定主泵的类型。一般主
泵极限压力的选取要比真空室的极限压力低半个到一个数量级。
(2)根据真
空室进行工艺生产时所需要的工作压力选主泵。应正确
地选择主泵的工作点,在其工作压力范围内,应能排
除真空室内工艺过程中产生的全部气体量。因此,真空室
内的工作压力一定要在主泵的优秀抽速压力范围之内。
(3)根据真
空室的容积大小和要求的抽气时间来选主泵。真空室
体积大小对系统抽到极限真空的时间有影响。当抽气
时间要求一定时,若真空室体积越大,则主泵抽速也越大。
(4)正确地组合真空泵,由于真
空泵有选择性地抽气,因而有
时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补
充才能满足抽气要求。
(5)若真空
系统严格要求无油时,则应该
选各种无油泵作主泵。如果要求不严格,则可选择有油泵,然后加
上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达
到清洁真空要求。
(6)选择真空泵时,应该知
道被抽气体成分,针对被
抽气体成分选择相应的泵。如果气
体中含有腐蚀性气体、颗粒灰尘等,则应该
考虑选择干式真空泵、耐腐蚀真空泵等。或在泵
的进气口管道上安装辅助设备。
(7)根据整
套真空系统的初次投资和日常维护费用等经济指标选择主泵。

       首先设
定真空系统的上下限值(比如上限值设定为-0.08Mpa,下限值设定为-0.06MPa),启动系统后,其中一
台真空泵开始工作,直到真
空罐内真空度高于上限值-0.08Mpa,此时真空泵自动停止,真空罐
内真空由真空止回阀自动截止,如因工
作需求真空罐内真空度降至低于下限值-0.06Mpa时,另一台
真空泵自动启动直到真空罐内真空度抽到上限值超过一定时间,而单台
真空泵不能将罐内真空度抽至下限以上时,另一台
真空泵将自动启动,直到超过上限。 性能特点: 该装置自次启动后,全部运
行过程可以实现全自动控制。其工作中,真空系
统内各处的真空度始终在
其允许范围内上下波动,其波动
范围可根据用户要求进行调整。台启动
达不到真空时第二台启动至达到设定的真空值当达到后台停再第二台停循环工作,该装置
在无人操作情况下对系统进行自动控制,在停电
时可自动封闭真空系统。同时控
制箱可以保护真空泵马达过载及短路。
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